i one-stop-tjeneste
NewTek-gass presenterer et banebrytende PSA (trykksvingadsorpsjon) oksygenproduksjonssystem spesielt konstruert for halvlederproduksjonsmiljøer. Denne modulære løsningen leverer 99,5% oksygen med ultrahøy renhet med strømningshastigheter fra 5-3000 nm³/t, med intelligente integrasjonsevner for reneomsoperasjoner.
Kjernetekniske fordeler
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99.999% O₂ Renhet
± 0. 5% konsentrasjonsstabilitet gjennom lasergassanalyse i sanntid
0. 1μm Multi-trinns filtrering (HEPA+ULPA) sikrer ISO klasse 3-samsvar
- 30% lavere strømforbruk enn konvensjonelle systemer
- Varmegjenvinningssystem reduserer termisk belastning i fab -miljøer
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Skalerbar skidmontert design støtter 20% -200% kapasitetsutvidelse
Luftkomprimeringsenhet (oljefri rulleknologi)
Rensetårn (automatisk TSA fuktighets fjerning)
Smart kontrollskap (PLC+HMI med SECS/GEM -protokoll)
Halvlederprosessapplikasjoner
✔ Termisk oksidasjon
Presisjon O₂ Forsyning for gateoksydvekst (2-200 Å tykkelseskontroll)
✔ tørr etsing
Plasma-stabil gassforsyning for nanoskala mønstring
✔ CVD -kammerrensing
Ultra-tørr oksygen for forebygging av partikkelforurensning
✔ skive annealing
Atmosfærekontroll med høy renhet for dopingmiddelaktivering
Smart overvåkingssystem
Sanntids urenhetsovervåking (deteksjon av PPB-nivå)
Prediktivt vedlikehold med AI -algoritme (98% nøyaktighet)
Ekstern diagnostikk via IIoT -plattformen (OPC UA/MTConnect)
Semi F 5-0202 Standarder
CE/UL/ETL elektrisk sikkerhetssertifisering
ISO 14644-1 klasse 3 Cleanroom Compatibility
Vi gir
▲ Globalt teknisk nettverk:24/7 flerspråklig støtte med<4hr response time
▲ Livstidsoptimaliseringsprogram:Årlig effektivitetsrevisjon og erstatningstjeneste for molekylær sil (1- årsgaranti)
▲Tilpassede løsninger:Skreddersydd integrasjon med AMHS/MMC -systemer
og gassgjenopprettingssystemdesign
Kontakt våre halvledergasseksperter
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
Populære tags: Oksygengenerator for halvleder, Kina oksygengenerator for halvlederprodusenter, leverandører
